機械振興賞　受賞者 業績概要詳細

　原子レベルで観察できるTEM(Transmission Electron Microscope)試料作製のためのFIB-SEM-Arビーム複合装置を開発した。原子レベルで観察するためには、TEM観察用試料の厚みを0.1μm程度まで薄くする必要がある。これまでスパッタエッチングによるFIB(Focused Ion Beam)加工が広く用いられてきたが、内部方向に物理的な損傷領域が発生する欠点があった。この損傷領域を除去するためにArビームを用いたFIB-SEM-Arビーム複合装置を開発した。FIBによる薄片化からArビームによる仕上げ加工までをSEM(Scanning Electron Microscope)でその場観察することにより、高度なTEM試料作製が可能となり、ゲート酸化膜構造が原子レベル分解能の顕微鏡像として観察できるようになった。