機械振興賞　受賞者 業績概要詳細

　薄型平面テレビのマザーガラスを空気で浮上させ、非接触で高速に搬送する大型ガラス基板の浮上搬送技術を開発した。薄く割れ易いガラス基板を安定して搬送する方法のひとつとして、空気で基板を浮上させて搬送する技術があるが、空気を噴出すための電力消費が大きいという問題があった。この問題を解決するために、新たな浮上搬送装置を開発した。この装置は、矩形状のベース上面をほぼ囲うように配した噴出開口から空気を噴出することで、基板面とベースとの間に圧力空間を形成させる。そのことにより高い浮上力が実現でき、搬送面に接触することなく高速に搬送でき、従来の1/10の低電力消費化が実現できた。